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要求：
1、样品必须是固体，且做到无毒、无放射性。
2、样品可以是块状、片状、纤维状、颗粒或粉末状，无论是什么样的样品都不能是有机挥发物和含有水分，含有水分的样品放在镜筒内能使图像模糊，甚至根本不能成像，也可造成镜筒污染，因此，应先烘干样品中的水分。
3、无论是块状样品,还是粉末颗粒状样品，其化学物理性质要稳定，在高真空中的电子束照射下，都要能保持成分稳定和形态不变。
4、表面受到污染的样品，在不破坏样品表面结构的前提下，进行适当清洗、烘干。
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